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浸没式光刻技术(关于浸没式光刻技术的简述)

时间:2023-03-10 00:26:43来源:

说起浸没式光刻技术,有许多人不了解,那么下面来看看小妍对浸没式光刻技术的相关介绍。

浸没式光刻技术

1、浸没式光刻技术是指在投影物镜最后一个透镜的下表面与硅片上的光刻胶之间充满高折射率的液体(多为水)。

文章到此就分享结束,希望对大家有所帮助。

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